DMF электронного класса (больше или равен 99,99%)
Электронный класс DMF (больше или равен 99,99%) идентичность продукта
Ультра-высокая чистота DMF (CAS 68-12-2) для полупроводниковой литографии, Стандарты получения полупроводника .
Уникальные основные моменты
Sub-PPB Металлы: Cu/ni/fe меньше или равен 0,05 ppb (ICP-MS подтвержден)
Контроль наночастиц: Менее или равен 5 частицам/мл (больше или равна 0,1 мкм, SLAS -4)
Критическое приложение: Фоторерезист EUV (L/S 5 -нм узлы)
Техническая спецификация
| Параметр | Ценить |
|---|---|
| Содержание анизола | Меньше или равен 1 ч / млн. |
| Диэлектрическая постоянная | 36,91 ± 0,02 (25 градусов) |
| Outgas (TGA) | Меньше или равен 50 мкг/см² |
Упаковка
20L фторированных бутылок HDPE
Зачистка чистой комнаты класса 10
горячая этикетка : Электронный DMF (больше или равен 99,99%) - полупроводниковые литографические приложения, Китайский электронный класс DMF (больше или равен 99,99%) - Полупроводниковые литографические приложения, поставщики, поставщики, заводская фабрика), Фильтрационная помощь Dipolar Approtic
